温控风扇
可以在低负载条件下降低风扇转速,从而使最小噪声降至仅52dB(A)。
轴承罩
可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离,以确保清洁的真空环境,并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中,从而延长轴承的使用寿命。
变频器驱动
在全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性,从而有助于打造最佳用户体验。
优化涡盘设计
转速提高,极限真空比第一代提高一个数量级。
优化端面密封技术
使用寿命发生显著变化,就大多数应用而言,典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。
高流量气镇特性