轴承罩
可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离,以确保清洁的真空环境,并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中,从而延长轴承的使用寿命。
变频器驱动
全球范围内泵性能完全相同,具有泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流量气镇特性
独特的轴向气隙电机
减小了整体泵尺寸,并且降低了功率和噪音
简单的单端双涡旋设计
可在几分钟内完成维护工作,从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。
双入口和旁通阀技术
XDS35iE适用于大腔体的抽气,防止气体过度压缩,提高泵的效率和抽速,延长轴承的使用寿命。